各種真空泵的發(fā)展受到真空應用場合的影響，普通真空系統無法滿足清潔、無油、耐腐蝕要求。因此在近年來，干式真空泵的市場需求量非常大，真空獲得產品已經出現更新換代的現象，大量有油真空系統已經被無油清潔的真空系統替換。
    因干式螺桿真空泵的優(yōu)越性能，在歐美和日本已經成為半導體、微電子、制藥、精密加工等領域的必備真空獲得設備。
    利用一對螺桿，在螺桿真空泵腔內作高速反方向的同步工作，使用齒輪傳動同步反向旋轉的彼此咬合不接觸的左右螺桿作高速滾動，兩個轉子和泵體，外加側蓋一同構成若干個吸排氣效果的抽氣設備。這些氣室有規(guī)則地從真空泵進氣口側往排氣口側移動，氣體被低速旋流傳送。繼續(xù)工作不會改動氣體流向，在一定限度內，可以將氣體可能夾藏的細小顆粒和蒸汽抽送出去。
    使用泵殼和彼此嚙合的螺旋，將螺旋槽分隔成多個空間，氣體在相等的各槽內做傳輸運動，無壓縮，只要螺桿末端的螺旋結構才會對氣體有壓縮的效果。螺桿的各級間形成壓力梯度，分散壓差和提高緊縮比。
    吸氣：螺桿真空泵陽轉子按逆時針方向旋轉，陰螺桿按順時針方向旋轉。
    緊縮：轉于端面是排氣端面。陰轉于沿逆時針方向旋轉，陽轉子沿順時針方向旋轉。
    而齒間容積與排氣孔口連通后，開始排氣。隨著齒間的容積不斷縮小，具有排氣壓力的氣體會逐步經過排氣孔口排出。
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